文献

J-GLOBAL ID：200902146328712446   整理番号：01A0256065

バイブロスキャニング法を用いた微細形状測定システムの開発

Development of a Micro Profile Measurement System Using Vibroscanning Method.

著者 (3件)： 山本正樹 (松下技研) ,  山口恵作 (松下技研) ,  青木新一郎 (松下技研)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 67  号： 2  ページ： 251-255  発行年： 2001年02月05日 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 高精度で広範囲な測定ができる微細加工形状評価のためのバイブロ...

シソーラス用語： *微細加工 ,...
準シソーラス用語： バイブロスキャンイング

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=01A0256065&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0268A") }}

分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (6件)：

• MASUZAWA, T. Vibroscaning Method for Nondestructive Measurement of Small Holes. Ann. CIRP. 1993, 42, 589
• 山本正樹. バイブロスキャニング法の微細放電加工機への実装検討. 1995年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 1995, 961
• KUIJPER, M. P. C. Profile Measurement of Micro-EDM Holes with 3D Vibroscanning Method. 電気加工技術. 1995, 19, 61, 1
• 山本正樹. バイブロスキャン微細穴形状測定装置の開発. 1998年度精密工学会春季大会学術講演会講演論文集. 1995, 185
• 谷村尚. 微細形彫放電加工によるマイクロ部品形状測定用探針の製作. 精密工学会誌. 1999, 65, 9, 1296

タイトルに関連する用語 (3件)： 微細 ,  形状測定システム ,  開発