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J-GLOBAL ID：200902146466910372   整理番号：00A0389281

マイクロ電気機械系(MEMS)における材料問題

Materials issues in microelectromechanical systems(MEMS).

著者 (1件)： SPEARING S M (Massachusetts Inst. Technol., MA, USA)
資料名： Acta Materialia  (Acta Materialia)
巻： 48  号： 1  ページ： 179-196  発行年： 2000年01月01日 
JST資料番号： A0316A  ISSN： 1359-6454  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 文献レビュー  発行国： イギリス (GBR)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 表面及びバルクの微細加工についてパターニング/エッチングに関...

シソーラス用語： *固体素子 ,...
準シソーラス用語： トランスデューサ ,...

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分類 (3件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  固体デバイス材料  (NC03020K) ,  圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (3件)： マイクロ ,  電気機械 ,  MEMS