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J-GLOBAL ID：200902146491457615   整理番号：94A0567560

非球面創成研磨に関する研究 (第2報) 非軸対称非球面形状の研磨加工

Study on Aspherical Surface Polishing Using a Small Rotating Tool. (2nd Report). Polishing of Asymmetric Aspherical Surface.

著者 (3件)： 鈴木浩文 (三菱電機 生産技研) ,  小寺直 (三菱電機 生産技研) ,  島野裕樹 (三菱電機 半導体基礎研)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 60  号： 6  ページ： 827-831  発行年： 1994年06月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 硬質脆性材料を対象とした,大型で非軸対称な非球面形状を超精密...

シソーラス用語： 研磨機 ,...

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分類 (1件)： 研削  (QC03000R)

引用文献 (6件)：

• 1) 山田忠利, 岩本雅民;放射光装置, 日本機械学会誌, 92,848(1988)622.
• 2) H.Shimano, T.Hifumi and Y.Ozaki : Design Optimization of Synchrotron Radiation Lithography Beamline for a Compact Storage Ring, Jpn.J.Appl. Phys., 31(1992)4185.
• 3) 内田史彦, 森山茂夫, 瀬谷英一 : 工具切込み量の回転角同期制御による非球面鏡の加工, 精密工学会誌, 55, 1(1989)179.
• 4) 鈴木浩文, 原成一, 松永博之 : 非球面創成研磨に関する研究一研磨装置の開発一, 精密工学会誌, 59, 10(1993)1713.
• 5) 鈴木浩文, 小寺 直, 原 成一, 松永博之, 黒部利次 : 磁気援用研磨に関する研究一球面形状への適用一, 精密工学会誌, 55, 6(1989)1053.

タイトルに関連する用語 (5件)： 非球面 ,  創成 ,  研磨 ,  研究 ,  研磨加工