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J-GLOBAL ID：200902146660410755   整理番号：99A0442069

CMOS位置検知インターフェイスとオフセット除去ディジタル電子回路を持つマイクロマシニング3軸加速度計

A Three-Axis Micromachined Accelerometer with a CMOS Position-Sense Interface and Digital Offset-Trim Electronics.

著者 (2件)： LEMKIN M (Univ. California, CA, USA) ,  BOSER B E (Univ. California, CA, USA)
資料名： IEEE Journal of Solid-State Circuits  (IEEE Journal of Solid-State Circuits)
巻： 34  号： 4  ページ： 456-468  発行年： 1999年04月 
JST資料番号： B0761A  ISSN： 0018-9200  CODEN： IJSCBC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 表面マイクロマシニング技術により実装した,集積CMOSを含む...

シソーラス用語： *加速度計 ,...

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分類 (2件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K) ,  半導体集積回路  (NC03162T)

タイトルに関連する用語 (6件)： CMOS ,  インターフェイス ,  オフセット ,  ディジタル電子回路 ,  マイクロマシニング ,  3軸加速度計