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J-GLOBAL ID：200902146686558564   整理番号：02A0512526

基礎講座 基礎編 シミュレーション技術 総論

Semiconductor simulation technology-Introduction.

著者 (1件)： 西謙二 (半導体先端テクノロジーズ)
資料名： 応用物理  (JSAP International)
巻： 71  号： 5  ページ： 588-592  発行年： 2002年05月10日 
JST資料番号： F0252A  ISSN： 0369-8009  CODEN： OYBSA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体のシミュレーション技術の基礎の導入部分として,シミュレ...

シソーラス用語： *計算機シミュレーション ,...

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分類 (1件)： 固体デバイス計測・試験・信頼性  (NC03040G)

引用文献 (6件)：

• 1) V. Senez, T. Hoffmann, E. Robilliart, G. Bouche, H. Jaouen, M. Lunenborg and G. Carnevale: Tech. Dig. Int. Electron Device Meet., Washington D. C., 2001, p. 831.
• 2) W. Liu, S. Jin, J. Chen, M. C. Jeng, Z. Liu, Y. Cheng, K. Chen, M. Chan, K. Hui, J. Huang, R. Tu, P. K. Ko and C. Hu: BSIM3v3 User's Manual, 1996, http://www.eigroup.org/cmc/cmos/default.htm
• 3) M. Suetake, K. Suematsu, H. Nagakura, M. Miura-Mattusch, H. J. Mattusch, S. Kumashiro, T. Yamaguchi, S. Odanaka and N. Nakayama: Proc. Int. Conf. Simulation of Semiconductor Processes and Devices, Athens, 2000, p. 261.
• 4) B. J. Mulvaney and W. B. Richardson: Appl. Phys. Lett. 51, 1439 (1987).
• 5) ITRS (International Technology Roadmap for Semiconduc- tors), 1999 ed., p. 315.

タイトルに関連する用語 (2件)： 基礎 ,  シミュレーション技術