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J-GLOBAL ID：200902147002641014   整理番号：93A0761710

Cosputtering and serial cosputtering using cylindrical rotatable magnetrons.

著者 (1件)： BELKIND A (BOC Group Technical Center, New Jersey)
資料名： Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films  (Journal of Vacuum Science & Technology. A. Vacuum, Surfaces and Films)
巻： 11  号： 4 Pt 1  ページ： 1501-1509  発行年： 1993年07月 
JST資料番号： C0789B  ISSN： 0734-2101  CODEN： JVTAD6  資料種別： 逐次刊行物 (A)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)