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J-GLOBAL ID：200902147223499832   整理番号：96A0935498

NiTi形状記憶合金薄膜 発光分光を用いた組成制御

NiTi shape memory alloy thin films: composition control using optical emission spectroscopy.
著者 (4件)：
BENDAHAN M

BENDAHAN M について

(Fac. Sci. de Saint-J<span style=text-decoration:overline>e ́</span>r<span style=text-decoration:overline>o^</span>me, Marseille, FRA)

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SEGUIN J-L

SEGUIN J-L について

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CANET P

CANET P について

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CARCHANO H

CARCHANO H について

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資料名：
Thin Solid Films  (Thin Solid Films)

Thin Solid Films について


巻： 283  号： 1/2  ページ： 61-66  発行年： 1996年09月01日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
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スパッタ蒸着中のTiNi薄膜の組成が発光分光でモニタできるこ...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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紫外発光スペクトル

紫外発光スペクトル について

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分類 (2件)：
分類
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金属薄膜 
(BK14030T)

金属薄膜 について

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(WB01040Y)

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タイトルに関連する用語 (5件)：
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NiTi

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形状記憶

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組成制御

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