文献

J-GLOBAL ID：200902147656013721   整理番号：98A0463494

単結晶シリコンの延性モード鏡面切削(第1報) 切削モードの遷移挙動に及ぼす切削速度の影響

Ductile-Mode Mirror Cutting of Single-Crystal Silicon (1st Report). Effects of Cutting Speed on the Brittle/Ductile Mode Transition Behavior in Cutting Process.

著者 (3件)： 市田良夫 (宇都宮大 工) ,  BEN FREJ N (宇都宮大 工) ,  YOUSEFI R (宇都宮大 大学院)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 64  号： 4  ページ： 608-612  発行年： 1998年04月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 単結晶シリコンの鏡面加工の加工精度と加工能率を改善するため,...

シソーラス用語： 単結晶 ,...
準シソーラス用語： シリコン ,...

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分類 (1件)： 旋削,中ぐり  (QC02020G)

引用文献 (11件)：

• 杉田忠彰. 硬ぜい材料のマイクロ切削における塑性変形型材料除去の可能性. 精密工学会誌. 1986, 52, 12, 2138
• BLAKE, P. Precision Machining of Ceramic Materials. Ceramic Bull. 1988, 67, 6, 1038
• PUTTICK, K. E. Single-Point Diamond Machining of Glasses. Proc. Roy. Soc. 1989, A426, 19
• NAKASUJI, T. Diamond Turning of Brittle Materials for Optical Components. Ann. CIRP. 1990, 39/1, 89
• 市田良夫. ファインセラミックスの鏡面研削に関する研究(第1報)-仕上面の生成機構に関する基礎的考察-. 精密工学会誌. 1991, 57, 8, 1406

タイトルに関連する用語 (7件)： 単結晶シリコン ,  延性 ,  鏡面 ,  切削 ,  遷移 ,  挙動 ,  切削速度