文献

J-GLOBAL ID：200902147658626593   整理番号：00A0001548

窒素の取り込みによる非晶質炭素膜の熱安定性の改善

Improvement of the thermal stability of amorphous carbon films by incorporation of nitrogen.

著者 (2件)： BAI H L (Tianjin Univ., Tianjin, CHN) ,  JIANG E Y (Tianjin Univ., Tianjin, CHN)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 353  号： 1/2  ページ： 157-165  発行年： 1999年09月29日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 窒化した非晶質炭素膜を二重対向ターゲットスパッタ法で堆積し,...

シソーラス用語： *ガラス状炭素 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=00A0001548&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=B0899A") }}

分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 窒素 ,  取り込み ,  非晶質 ,  炭素膜 ,  熱安定性