文献

J-GLOBAL ID：200902147661565848   整理番号：97A0951163

粗微動連動制御機構による表面粗さ測定に関する研究 装置の構成と2,3の測定結果

Study on a Stylus Profiling Instrument Based on a Fine and Coarse Dual-Servo Mechanism. Measuring Principle and a Few Measurement Results.

著者 (4件)： 熊田毅史 (山武ハネウエル) ,  三井公之 (慶応大 理工) ,  中嶋和雄 (東京精密) ,  生田目英幸 (東京精密)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 63  号： 10  ページ： 1439-1443  発行年： 1997年10月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 触針位置の制御による新しい表面粗さ測定法式である粗微動連動制...

シソーラス用語： *表面粗さ ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=97A0951163&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=F0268A") }}

分類 (1件)： 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器  (AD05020O)

引用文献 (6件)：

• SOMMARGEN, G. E. Optical Heterodyne Profilometry. Appl. Opt. 1981, 20, 4, 610
• 小沢則光. 非接触光学式微細形状測定ヘッド(HIPOSS-1)-超精密測定技術の研究. 精密工学会誌. 1986, 52, 12, 2080
• 三井公之. 高感度非接触粗さ計の開発. 精密工学会誌. 1987, 53, 2, 328
• 中村明信. デュアルサーボ式STMの開発. 精密工学会誌. 1996, 62, 6, 850
• HOWARD, L. P. Long Range Constant Force Profiling for Measurement of Engineering Surfaces. Rev. Sci. Instrum. 1992, 63, 10, 4289

タイトルに関連する用語 (6件)： 微動 ,  連動 ,  制御機構 ,  表面粗さ ,  研究 ,  測定結果