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J-GLOBAL ID：200902147840677012   整理番号：98A0553742

位相有感エリプソメータの開発と呈色プロセスにおける色原体WO₃膜の実時間分析へのその応用

Development of a phase-sensitive ellipsometer and application to the real-time analysis of chromogenic WO₃ films during the coloration process.

著者 (3件)： MASETTI E (ENEA, Rome, ITA) ,  SEGRE S E (Univ. Rome II ‘Tor Vergata’, Rome, ITA) ,  BOSCH S (Univ. Barcelona, Barcelona, ESP)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 313/314  ページ： 62-67  発行年： 1998年02月 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 位相有感検出により偏光状態を評価する新型エリプソメータを開発...

シソーラス用語： 位相測定 ,...

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分類 (2件)： 偏光測定と偏光計  (BD07050K) ,  電気光学効果,磁気光学効果  (BM08020L)

タイトルに関連する用語 (7件)： 位相 ,  エリプソメータ ,  開発 ,  プロセス ,  実時間 ,  分析 ,  応用