特集 半導体のクリーンルームにおける安全対策 クリーンルーム内ガス配管系の安全対策 特殊材料ガスを中心として

太田栄治

文献

J-GLOBAL ID：200902147913753057 整理番号：94A0062897

特集半導体のクリーンルームにおける安全対策クリーンルーム内ガス配管系の安全対策特殊材料ガスを中心として

Special issue : Safety measures in clean rooms of semiconductor plants.Safety measures of gas pipelines in clean rooms.Special material gas is a central factor.

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著者 (1件)：
資料名：
巻： 3 号： 12 ページ： 20-25 発行年： 1993年12月
JST資料番号： L1138A ISSN： 0917-1819 CODEN： KTEKER 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：解説発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

半導体産業で使用されるガスの種類及びその危険性について概略述...

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空気浄化 , 集積回路一般 , 災害・防災一般

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