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J-GLOBAL ID:200902148217982420   整理番号:00A0413667

シリコン熱酸化膜の電子線照射損傷

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資料名:
巻:号:ページ: 39-44  発行年: 1997年01月 
JST資料番号: L3852A  ISSN: 1341-1756  CODEN: JSANFX  資料種別: 逐次刊行物 (A)
発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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