文献
J-GLOBAL ID：200902148217982420
整理番号：00A0413667
シリコン熱酸化膜の電子線照射損傷
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著者 (3件)：
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資料名：
巻：
3
号：
1
ページ：
39-44
発行年：
1997年01月
JST資料番号：
L3852A
ISSN：
1341-1756
CODEN：
JSANFX
資料種別：
逐次刊行物 (A)
発行国：
日本 (JPN)
言語：
日本語 (JA)
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