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J-GLOBAL ID：200902148250793579   整理番号：02A0539317

先進IT機器を支えるセンサーはここが違う 半導体デバイスの効率生産を実現する半導体歩留り向上支援ソリューション

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著者 (1件)：
宇佐見康継

宇佐見康継 について

(日立ハイテクノロジーズ)

日立ハイテクノロジーズ について


資料名：
オートメーション  (Automation (Tokyo))

オートメーション について


巻： 47  号： 7  ページ： 40-44  発行年： 2002年07月01日 
JST資料番号： F0004A  ISSN： 0473-5587  CODEN： OTOMA  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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90nmノードに対応した次世代の日立半導体検査・評価装置と歩...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*歩留り

歩留り について

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分類 (1件)：
分類
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固体デバイス計測・試験・信頼性 
(NC03040G)

固体デバイス計測・試験・信頼性 について

タイトルに関連する用語 (6件)：
タイトルに関連する用語
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IT機器

IT機器 について

, 
センサー

センサー について

, 
半導体デバイス

半導体デバイス について

, 
歩留り向上

歩留り向上 について

, 
支援

支援 について

, 
ソリューション

ソリューション について


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