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J-GLOBAL ID：200902148339138310   整理番号：99A0700843

スパッタ蒸着ZnO膜の構造と光学的性質

Structural and optical properties of sputtered ZnO films.

著者 (4件)： BACHARI E M (Univ. Blaise Pascal, Aubiere, FRA) ,  BAUD G (Univ. Blaise Pascal, Aubiere, FRA) ,  AMOR S B (Univ. Blaise Pascal, Aubiere, FRA) ,  JACQUET M (Univ. Blaise Pascal, Aubiere, FRA)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 348  号： 1/2  ページ： 165-172  発行年： 1999年07月06日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： rfマグネトロンスパッタリングによりスパッタ条件を変えてZn...

シソーラス用語： *薄膜成長 ,...
準シソーラス用語： 結晶化度 ,...

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分類 (2件)： 酸化物薄膜  (BK14050P) ,  光物性一般  (BM08010A)

タイトルに関連する用語 (3件)： スパッタ蒸着 ,  ZnO ,  光学的性質