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J-GLOBAL ID：200902148390438086   整理番号：97A0380805

先端砥粒加工: 研磨 精密研磨に利用する金属酸化物ゾル

Applications of Metal Oxide Sols for Polishing.

著者 (4件)： 吉田明利 (日産化学工業) ,  太田勇夫 (日産化学工業) ,  加賀隆生 (日産化学工業) ,  西村透 (日産化学工業)
資料名： 砥粒加工学会誌  (Abrasive Technology)
巻： 41  号： 4  ページ： 124-126  発行年： 1997年04月 
JST資料番号： L0473A  ISSN： 0914-2703  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 半導体デバイスやシリコンウエハ,情報ディスク等の平坦化精密研...

シソーラス用語： 半導体材料 ,...

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分類 (1件)： 研削・研摩材  (YC06020Q)

引用文献 (4件)：

• 滝貞男. 人工水晶とその電気的応用. 1974
• 岡野庄太郎. 水晶周波数制御デバイス. 1995
• 日本水晶デバイス工業会. 水晶デバイスの解説と応用. 1996
• トヨコム水晶製品総合カタログ1996年版. 1996

タイトルに関連する用語 (5件)： 砥粒加工 ,  研磨 ,  精密研磨 ,  金属酸化物 ,  ゾル