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J-GLOBAL ID：200902148520809138   整理番号：95A0341682

0.15μm世代のマスク欠陥検査装置MC-100の開発 (第2報) 光学特性が検査性能におよぼす影響

著者 (8件)： 真田恭 (東芝) ,  田畑光雄 (東芝) ,  渡辺利之 (東芝) ,  東条徹 (東芝) ,  井上広 (東芝 生産技研) ,  芳野寿和 (トプコン) ,  田谷真 (トプコン) ,  佐藤卓司 (トプコン)
資料名： 精密工学会大会学術講演会講演論文集  (精密工学会大会シンポジウム資料集)
巻： 1994  号： Autumn 2  ページ： 479-480  発行年： 1994年09月 
JST資料番号： Y0914A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (7件)： 世代 ,  マスク ,  欠陥検査装置 ,  MC ,  開発 ,  光学特性 ,  検査