ZnSe/CdSe超格子ナノ細線に関する原子層堆積

SOLANKI R; HUO J; FREEOUF J L; MINER B

文献

J-GLOBAL ID：200902148595452685 整理番号：02A0908853

ZnSe/CdSe超格子ナノ細線に関する原子層堆積

Atomic layer deposition of ZnSe/CdSe superlattice nanowires.

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資料名：
巻： 81 号： 20 ページ： 3864-3866 発行年： 2002年11月11日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

原子層堆積を用いて,ZnSe/CdSe超格子からなるナノ細線...

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半導体薄膜

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