ダイヤモンド型及び重合体型水素化非晶質炭素膜の水素結合と微細構造へのアニーリングの影響

BOUNOUH Y; THEYE M L; DEHBI-ALAOUI A; MATTHEWS A; STOQUERT J P

文献

J-GLOBAL ID：200902148820276743 整理番号：95A0496742

ダイヤモンド型及び重合体型水素化非晶質炭素膜の水素結合と微細構造へのアニーリングの影響

Influence of annealing on the hydrogen bonding and the microstructure of diamondlike and polymerlike hydrogenated amorphous carbon films.

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巻： 51 号： 15 ページ： 9597-9605 発行年： 1995年04月15日
JST資料番号： D0746A ISSN： 1098-0121 CODEN： PRBMDO 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

水素化非晶質炭素(a-C:H)膜の微細構造への水素取込みの影...

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非晶質半導体の構造

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