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J-GLOBAL ID：200902149126932397   整理番号：98A0739744

rf-PECVD蒸着DLCコーティングの材料特性とトライボロジー特性

Material properties and tribological performance of rf-PECVD deposited DLC coatings.

著者 (6件)： CLAY K J (Cambridge Univ., Cambridge, GBR) ,  SPEAKMAN S P (Cambridge Univ., Cambridge, GBR) ,  MORRISON N A (Cambridge Univ., Cambridge, GBR) ,  TOMOZEIU N (Cambridge Univ., Cambridge, GBR) ,  MILNE W I (Cambridge Univ., Cambridge, GBR) ,  KAPOOR A (Univ. Sheffield, Sheffield, GBR)
資料名： Diamond and Related Materials  (Diamond and Related Materials)
巻： 7  号： 8  ページ： 1100-1107  発行年： 1998年08月 
JST資料番号： W0498A  ISSN： 0925-9635  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 高周波プラズマCVDによりSi,ガラス,金属基板上にダイヤモ...

シソーラス用語： *炭素 ,...
準シソーラス用語： メタン

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分類 (1件)： 半導体薄膜  (BK14040E)

タイトルに関連する用語 (7件)： RF ,  PECVD ,  蒸着 ,  DLC ,  コーティング ,  材料特性 ,  トライボロジー特性