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J-GLOBAL ID：200902149167673479   整理番号：94A0109489

トライボロジー用マグネトロンスパッタリングによるミクロ積層Al/Al₂O₃複合材料の製造

Fabrication of microlaminated Al/Al₂O₃ composites by magnetron sputtering for tribological applications.

著者 (3件)： DING Y (Univ. Windsor, Ont., CAN) ,  NORTHWOOD D O (Univ. Windsor, Ont., CAN) ,  ALPAS A T (Univ. Windsor, Ont., CAN)
資料名： Surface & Coatings Technology  (Surface & Coatings Technology)
巻： 62  号： 1/3  ページ： 448-453  発行年： 1993年12月10日 
JST資料番号： D0205C  ISSN： 0257-8972  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 酸化物と金属ターゲットを備えた高周波三極マグネトロンスパッタ...

シソーラス用語： 複合材料 ,...

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分類 (3件)： 金属材料へのセラミック被覆  (YC02050V) ,  気相めっき  (WC08022K) ,  クラッド材  (WE04020G)

タイトルに関連する用語 (5件)： トライボロジー ,  マグネトロンスパッタリング ,  Al ,  Al2O3 ,  複合材料