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J-GLOBAL ID:200902149408693190 整理番号:95A0058718
集束イオンビーム加工技術 (神奈川県工業試験所S)
Focused ion beam processing technique.( Sponsor : Industrial Research Institute in Kanagawa Prefecture ).
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著者 (1件):
大屋誠志郎
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資料名:
神奈川県工業試験所業績資料
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巻:
1993
ページ:
58-59
発行年:
1993年10月
JST資料番号:
J0493A
資料種別:
逐次刊行物 (A)
記事区分:
短報
発行国:
日本 (JPN)
言語:
日本語 (JA)
抄録/ポイント:
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