焦点検出のための同軸および共画像平面光学系とFourier縞解析を用いた三次元形状絶対測定

文献

J-GLOBAL ID：200902149488813566 整理番号：00A0239358

Absolute three-dimensional shape measurements using coaxial and coimage plane optical systems and Fourier fringe analysis for focus detection.

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巻： 39 号： 1 ページ： 61-68 発行年： 2000年01月
JST資料番号： B0577B ISSN： 0091-3286 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

大きな高さ不連続性を持つ三次元物体の絶対および影のない形状測...

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干渉測定と干渉計 , 長さ,面積,断面,体積,容積,角度の計測法・機器

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