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J-GLOBAL ID：200902149621727228   整理番号：99A0432589

マイクロデバイス用セラミック膜のマイクロ/ナノメカニカル特性化

Micro/nanomechanical characterization of ceramic films for microdevices.

著者 (2件)： LI X (Ohio State Univ., OH, USA) ,  BHUSHAN B (Ohio State Univ., OH, USA)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 340  号： 1/2  ページ： 210-217  発行年： 1999年02月26日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 標記の特性化を単結晶3C-SiC(立方晶またはp-SiC)膜...

シソーラス用語： *セラミック膜 ,...

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分類 (2件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A) ,  固体の機械的性質一般  (BL01021C)

タイトルに関連する用語 (4件)： マイクロデバイス ,  セラミック膜 ,  マイクロ ,  ナノメカニカル特性