文献

J-GLOBAL ID：200902149750968061   整理番号：96A0521714

表面マイクロマシン加速度計

Surface Micromachined Accelerometers.

著者 (2件)： BOSER B E (Univ. California Berkeley, CA, USA) ,  HOWE R T (Univ. California Berkeley, CA, USA)
資料名： IEEE Journal of Solid-State Circuits  (IEEE Journal of Solid-State Circuits)
巻： 31  号： 3  ページ： 366-375  発行年： 1996年03月 
JST資料番号： B0761A  ISSN： 0018-9200  CODEN： IJSCBC  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 表面マイクロマシニングにより,薄膜マイクロメカニカル構造とC...

シソーラス用語： 加速度計 ,...

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=96A0521714&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=B0761A") }}

分類 (2件)： 時間,速度,加速度,角速度の計測法・機器  (AD05040K) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (2件)： マイクロマシン ,  加速度計