文献

J-GLOBAL ID：200902150206347744   整理番号：95A0548759

Siカンチレバー上のPZT薄膜のエキシマレーザ・アブレーション

Excimer laser ablation of PZT thin films on silicon cantilever beams.

著者 (4件)： LAPPALAINEN J (Univ. Oulu, Oulu, FIN) ,  FRANTTI J (Univ. Oulu, Oulu, FIN) ,  MOILANEN H (Univ. Oulu, Oulu, FIN) ,  LEPPAEVUORI S (Univ. Oulu, Oulu, FIN)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： 46  号： 1/3  ページ： 104-109  発行年： 1995年01月 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： レーザ・アブレーションを用いて低圧カンチレバー・バイモルフ・...

シソーラス用語： 圧電素子 ,...
準シソーラス用語： PZT【鉛化合物】

   続きはJDreamIII（有料）にて  {{ this.onShowAbsJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=95A0548759&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=B0345C") }}

分類 (1件)： 圧電デバイス  (NC03110I)

タイトルに関連する用語 (6件)： Si ,  カンチレバー ,  PZT ,  薄膜 ,  エキシマレーザ ,  アブレーション