PZTN薄膜のパルスレーザアブレーション蒸着中のその場プラズマ発光分析

文献

J-GLOBAL ID：200902150511489940 整理番号：02A0204144

In-situ plasma emission optical spectroscopy during pulsed laser ablation deposition of PZTN thin films.

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資料名：
巻： 64 号： 3/4 ページ： 353-358 発行年： 2002年01月
JST資料番号： E0347A ISSN： 0042-207X 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：イギリス (GBR) 言語：英語 (EN)

NbドープPZT(PZTN)ターゲットのパルスレーザ照射によ...

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酸化物薄膜 , プラズマ診断

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