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J-GLOBAL ID:200902150511489940   整理番号:02A0204144

PZTN薄膜のパルスレーザアブレーション蒸着中のその場プラズマ発光分析

In-situ plasma emission optical spectroscopy during pulsed laser ablation deposition of PZTN thin films.
著者 (5件):
資料名:
巻: 64  号: 3/4  ページ: 353-358  発行年: 2002年01月 
JST資料番号: E0347A  ISSN: 0042-207X  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: イギリス (GBR)  言語: 英語 (EN)
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NbドープPZT(PZTN)ターゲットのパルスレーザ照射によ...
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分類 (2件):
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酸化物薄膜  ,  プラズマ診断 
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