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J-GLOBAL ID:200902151164218317   整理番号:97A0992686

選択性有機金属気相エピタクシーによって作製した滑らかな垂直ファセットを持つGaN六角マイクロプリズム

GaN hexagonal microprisms with smooth vertical facets fabricated by selective metalorganic vapor phase epitaxy.
著者 (4件):
資料名:
巻: 71  号: 15  ページ: 2196-2198  発行年: 1997年10月13日 
JST資料番号: H0613A  ISSN: 0003-6951  CODEN: APPLAB  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 短報  発行国: アメリカ合衆国 (USA)  言語: 英語 (EN)
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(0001)サファイア基板上のマスクパターンを付けたGaNを...
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分類 (1件):
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半導体薄膜 

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