選択性有機金属気相エピタクシーによって作製した滑らかな垂直ファセットを持つGaN六角マイクロプリズム

AKASAKA T; KOBAYASHI Y; ANDO S; KOBAYASHI N

文献

J-GLOBAL ID：200902151164218317 整理番号：97A0992686

選択性有機金属気相エピタクシーによって作製した滑らかな垂直ファセットを持つGaN六角マイクロプリズム

GaN hexagonal microprisms with smooth vertical facets fabricated by selective metalorganic vapor phase epitaxy.

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巻： 71 号： 15 ページ： 2196-2198 発行年： 1997年10月13日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

(0001)サファイア基板上のマスクパターンを付けたGaNを...

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半導体薄膜

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