文献
J-GLOBAL ID：200902151180487123   整理番号：93A0763657

Growth and surface morphology of thin silicon films using an atomic force microscope.

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著者 (3件)：
HEGDE R I

HEGDE R I について

(Motorola, Inc., Texas)

Motorola, Inc., Texas について

, 
CHONKO M A

CHONKO M A について

(Motorola, Inc., Texas)

Motorola, Inc., Texas について

, 
TOBIN P J

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(Motorola, Inc., Texas)

Motorola, Inc., Texas について


資料名：
Atomic-Scale Imaging of Surfaces and Interfaces  (Atomic-Scale Imaging of Surfaces and Interfaces)

Atomic-Scale Imaging of Surfaces and Interfaces について


ページ： 65-70  発行年： 1993年 
JST資料番号： K19930455  ISBN： 1-55899-190-5  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

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