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J-GLOBAL ID：200902151205620028   整理番号：94A0702679

水素添加及び水素フリーダイヤモンド状炭素皮膜のトライボロジー特性化

Tribological Characteristics of Hydrogenated and Hydrogen-Free Diamond-like Carbon Coatings.

著者 (6件)： HOLMBERG K (VTT Technical Research Centre of Finland, FIN) ,  KOSKINEN J (VTT Technical Research Centre of Finland, FIN) ,  RONKAINEN H (VTT Technical Research Centre of Finland, FIN) ,  VIHERSALO J (VTT Technical Research Centre of Finland, FIN) ,  HIRVONEN J-P (VTT Technical Research Centre of Finland, FIN) ,  LIKONEN J (VTT Technical Research Centre of Finland, FIN)
資料名： Diamond Films and Technology  (Diamond Films and Technology)
巻： 4  号： 2  ページ： 113-129  発行年： 1994年 
JST資料番号： L1952A  ISSN： 0917-4540  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： r.f.低圧プラズマ蒸着およびパルスアーク放電蒸着による皮膜...

シソーラス用語： 炭素 ,...
準シソーラス用語： ダイヤモンド薄膜

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分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 水素添加 ,  水素 ,  ダイヤモンド状炭素 ,  皮膜 ,  トライボロジー特性