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J-GLOBAL ID：200902151304004100   整理番号：02A0178367

単結晶Si片持梁の作製

Fabrication of single-crystal Si cantilever array.

著者 (6件)： SAYA D (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  FUKUSHIMA K (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  TOSHIYOSHI H (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  HASHIGUCHI G (Kagawa Univ., Kagawa, JPN) ,  FUJITA H (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN) ,  KAWAKATSU H (Univ. Tokyo, Tokyo, JPN)
資料名： Sensors and Actuators. A. Physical  (Sensors and Actuators. A. Physical)
巻： A95  号： 2/3  ページ： 281-287  発行年： 2002年01月01日 
JST資料番号： B0345C  ISSN： 0924-4247  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 原子間力顕微鏡(AFM)の力勾配と質量検出の分解能を改善する...

シソーラス用語： 単結晶 ,...

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分類 (2件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V) ,  顕微鏡法  (BK01040E)

タイトルに関連する用語 (3件)： 単結晶Si ,  片持梁 ,  作製