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J-GLOBAL ID：200902151382820720   整理番号：97A0738631

マイクロ波プラズマCVDによる超はっ水膜の作製

Preparation of ultra water-repellent films by microwave plasma-enhanced CVD.

著者 (2件)： HOZUMI A (Nagoya Univ., Nagoya, JPN) ,  TAKAI O (Nagoya Univ., Nagoya, JPN)
資料名： Thin Solid Films  (Thin Solid Films)
巻： 303  号： 1/2  ページ： 222-225  発行年： 1997年07月15日 
JST資料番号： B0899A  ISSN： 0040-6090  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： オランダ (NLD)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： テトラメチルシランとフルオロアルキルシランを用いたプラズマC...

シソーラス用語： プラズマCVD ,...

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分類 (1件)： 有機化合物の薄膜  (BK14070L)

タイトルに関連する用語 (3件)： マイクロ波プラズマCVD ,  超はっ水 ,  作製