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J-GLOBAL ID:200902151776742007   整理番号:95A0129994

超精密加工用エアスピンドルの開発

Development of Air Spindles for Ultra Precision Machining.
著者 (1件):
資料名:
巻: 50  号:ページ: 58-70  発行年: 1994年12月 
JST資料番号: F0439A  ISSN: 0429-8349  CODEN: FJERA  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 解説  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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超精密加工に不可欠な静圧型空気軸受スピンドル(エアスピンドル...
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