近視野Raman分光法によるけい素中の応力のミクロン以下の分解能の測定

WEBSTER S; BATCHELDER D N; SMITH D A

文献

J-GLOBAL ID：200902151991882081 整理番号：98A0378319

近視野Raman分光法によるけい素中の応力のミクロン以下の分解能の測定

Submicron resolution measurement of stress in silicon by near-field Raman spectroscopy.

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巻： 72 号： 12 ページ： 1478-1480 発行年： 1998年03月23日
JST資料番号： H0613A ISSN： 0003-6951 CODEN： APPLAB 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：短報発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

約150nmの空間分解能を持つ走査近視野光学顕微鏡(SNOM...

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固体の機械的性質一般

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