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J-GLOBAL ID:200902152180488223   整理番号:93A0257176

超微細加工プロセス技術とGHz帯低損失弾性表面波フィルタ

Nanometer-Fabrication Process and GHz-Range Low-Loss SAW Filters.
著者 (2件):
資料名:
巻: 76  号:ページ: 185-192  発行年: 1993年02月 
JST資料番号: S0621A  ISSN: 0913-5707  資料種別: 逐次刊行物 (A)
記事区分: 原著論文  発行国: 日本 (JPN)  言語: 日本語 (JA)
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