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J-GLOBAL ID：200902152380088530   整理番号：02A0071161

低エネルギー電子・イオンダイナミックスとシミュレーション技法 II

資料名： 電気学会技術報告
号： 853  ページ： 84P  発行年： 2001年09月25日 
JST資料番号： S0378A  ISSN： 0919-9195  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 本報告は,既に出版されている「低エネルギー電子・イオンダイナ...

シソーラス用語： *プラズマシミュレーション ,...
準シソーラス用語： プラズマプロセシング ,...

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分類 (2件)： 気体放電  (BJ03020T) ,  プラズマ一般  (BJ02010B)

タイトルに関連する用語 (5件)： エネルギー電子 ,  イオン ,  ダイナミックス ,  シミュレーション ,  技法