SAWデバイス用ZnO圧電膜の端部に生じる応力の影響とその低減

文献

J-GLOBAL ID：200902152549550548 整理番号：93A0314684

Influences and Reduction of the Stress caused at Edges of ZnO Film on the Glass Substrate for SAW Device.

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資料名：
巻： 113 号： 2 ページ： 85-90 発行年： 1993年02月
JST資料番号： S0810A ISSN： 0385-4221 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：日本 (JPN) 言語：日本語 (JA)

RFマグネトロンスパッタ方法を用いて,ZnO圧電膜SAWデバ...

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弾性表面波デバイス

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