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J-GLOBAL ID：200902152789798563   整理番号：97A0514805

低誘電率層間誘電体として使うためのベンゼン環を含む無定形炭素薄膜

Amorphous carbon thin films containing benzene rings for use as low-dielectric-constant interlayer dielectrics.

著者 (2件)： ENDO K (NEC Corp., Ibaraki, JPN) ,  TATSUMI T (NEC Corp., Ibaraki, JPN)
資料名： Applied Physics Letters  (Applied Physics Letters)
巻： 70  号： 19  ページ： 2616-2618  発行年： 1997年05月12日 
JST資料番号： H0613A  ISSN： 0003-6951  CODEN： APPLAB  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 水素化した無定形炭素(a-C:H)膜中に挿入したベンゼン環の...

シソーラス用語： 誘電率 ,...
準シソーラス用語： ベンゼン

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分類 (1件)： その他の無機化合物の薄膜  (BK14060A)

タイトルに関連する用語 (5件)： 低誘電率 ,  誘電体 ,  ベンゼン環 ,  無定形 ,  炭素薄膜