文献

J-GLOBAL ID：200902152920609801   整理番号：99A0245614

Pb(Zr_0.52,Ti_0.48)O₃厚膜マイクロアクチュエータ実現のための堆積法とパターニング法

Deposition and Patterning Technique for Realization of Pb(Zr_0.52, Ti_0.48)O₃ Thick Film Micro Actuator.

著者 (6件)： MAEDA R (Agency of Industrial Sci. and Technol., Ministry of International Trade and Ind., Ibaraki, JPN) ,  WANG Z (Agency of Industrial Sci. and Technol., Ministry of International Trade and Ind., Ibaraki, JPN) ,  CHU J (Agency of Industrial Sci. and Technol., Ministry of International Trade and Ind., Ibaraki, JPN) ,  AKEDO J (Agency of Industrial Sci. and Technol., Ministry of International Trade and Ind., Ibaraki, JPN) ,  ICHIKI M (Agency of Industrial Sci. and Technol., Ministry of International Trade and Ind., Ibaraki, JPN) ,  YONEKUBO S (Agency of Industrial Sci. and Technol., Ministry of International Trade and Ind., Ibaraki, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 1. Regular Papers, Short Notes & Review Papers)
巻： 37  号： 12B  ページ： 7116-7119  発行年： 1998年12月 
JST資料番号： G0520B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： PZT膜を微小電気機械システムの駆動用に適用するためには,比...

シソーラス用語： 厚膜 ,...
準シソーラス用語： *PZT【鉛化合物】

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分類 (1件)： 固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (6件)：

• 1) O. Auciello and R. Ramesh (ed.): Electroceramic Thin Films, Part I: Processing, MRS Bull., Special Issue June 1996.
• 2) C. Lee, S Kawano, T. Itoh and T. Suga: J. Mater. Sci. 31 (1996) 4559.
• 3) R. Maeda and K. Kikuchi: Surf. Eng. 13 (1997) 71.
• 4) J. Akedo, M. Ichiki, K. Kikuchi and R. Maeda, Proc of IEEE Workshop of MEMS (1997) p. 135.
• 5) A. Schroth, M. Ichiki, R. Maeda and J. Akedo: Proc. SPIE 3242 (1997) 380.

タイトルに関連する用語 (6件)： Pb ,  O3 ,  厚膜 ,  マイクロアクチュエータ ,  堆積 ,  パターニング