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J-GLOBAL ID：200902153326323163   整理番号：95A0915294

3次元微細形状創成技術 エッチングによる微細な3次元構造体の加工

The Production Processes for Three-Dimensional Micro-Shapes. Micromachining of 3-dimensional Microstructure by Etching.

著者 (1件)： 佐藤一雄 (名古屋大 大学院)
資料名： 精密工学会誌  (Journal of the Japan Society for Precision Engineering)
巻： 61  号： 10  ページ： 1373-1376  発行年： 1995年10月 
JST資料番号： F0268A  ISSN： 0912-0289  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 解説  発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

抄録/ポイント： 標記加工の現状を解説した。等方性エッチングによる超音波顕微鏡...

シソーラス用語： エッチング ,...

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分類 (2件)： その他の表面処理  (WC08070F) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

引用文献 (11件)：

• 橋本久儀. マイクロマシニングによる超音波顕微鏡用シリコン音響レンズの開発. 日本機械学会論文集(C編). 1994, 60,574, 2164
• TACHI, S. Low-temperature Reactive Ion Etching and Microwave Plasma Etching of Silicon. Appl.Phys.Lett. 1988, 52,8, 616
• KLAASSEN, E. H. Silicon Fusion Bonding and Deep Reactive Etching;A New Technology for Microstructures. Tech.Digest of Transducers '95, Stockholm. 1995, 556
• 佐藤一雄. 単結晶Siの異方性エッチング技術. 精密工学会誌. 1987, 53,6, 849
• KOIDE, A. A Multistep Anisotropic Etching Process for Producing 3-D Silicon Accelerometer. Tech.Digest of the 11th Sensor Symp. 1992, 23

タイトルに関連する用語 (5件)： 3次元 ,  微細形状 ,  創成 ,  エッチング ,  3次元構造体