文献
J-GLOBAL ID:200902153462688760
整理番号:94A0902285
CF4添加によるPECVD多結晶SiC薄膜の結晶性変化 (II)
Crystallinity change caused by CF4 reactants in PECVD poly-SiC films. (II).
-
出版者サイト
複写サービスで全文入手
-
高度な検索・分析はJDreamⅢで
{{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=94A0902285&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=Y0055A") }}