Micro-structure and electrical properties of nanocrystalline Pt thin film prepared by R.F. sputtering.

文献

J-GLOBAL ID：200902153493287608 整理番号：93A0763237

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ページ： 179-184 発行年： 1993年
JST資料番号： K19930448 ISBN： 1-55899-181-6 資料種別：会議録 (C)
発行国：アメリカ合衆国 (USA) 言語：英語 (EN)

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