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J-GLOBAL ID：200902153633684947   整理番号：99A0179318

ナノメートルオーダの機械振動子(ナノカンチレバー)の作成と評価

Fabrication and characterization of mechanical oscillator with nanometer scale.
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著者 (3件)：
SAYA D

SAYA D について

(Univ. Tokyo)

Univ. Tokyo について

, 
KAWAKATSU H

KAWAKATSU H について

(Univ. Tokyo)

Univ. Tokyo について

, 
DE LABACHELERIE M

DE LABACHELERIE M について

(Lab. Physique et Metrologie des Oscillateurs, CNRS)

Lab. Physique et Metrologie des Oscillateurs, CNRS について


資料名：
応用物理学会学術講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Annual Meeting. Japan Society of Applied Physics)

応用物理学会学術講演会講演予稿集 について


巻： 59th  号： 1  ページ： 412  発行年： 1998年09月 
JST資料番号： Y0055A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)
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ナノメートルオーダ

ナノメートルオーダ について

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振動子

振動子 について

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ナノカンチレバー

ナノカンチレバー について

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評価

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