文献
J-GLOBAL ID：200902153832072900   整理番号：93A0732419

Emissivity Correcting Pyrometer for Temperature Measurement in Low Pressure Chemical Vapor Deposition.

  • 出版者サイト 複写サービスで全文入手
  • 高度な検索・分析はJDreamⅢで {{ this.onShowJLink("http://jdream3.com/lp/jglobal/index.html?docNo=93A0732419&from=J-GLOBAL&jstjournalNo=T0864A") }}
著者 (3件)：
FORDHAM M J

FORDHAM M J について

(North Carolina State Univ., NC)

North Carolina State Univ., NC について

, 
GANSMAN R F

GANSMAN R F について

(North Carolina State Univ., NC)

North Carolina State Univ., NC について

, 
SORRELL F Y

SORRELL F Y について

(North Carolina State Univ., NC)

North Carolina State Univ., NC について


資料名：
Proceedings. Biennial University/Government/Industry Microelectronics Symposium  (Proceedings. Biennial University/Government/Industry Microelectronics Symposium)

Proceedings. Biennial University/Government/Industry Microelectronics Symposium について


巻： 10th  ページ： 223-228  発行年： 1993年 
JST資料番号： T0864A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

前のページに戻る

TOP

BOTTOM