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J-GLOBAL ID：200902153888680457   整理番号：96A0977671

ビデオシステムを用いたMo堆積の電界イオン顕微鏡観察

Field Ion Microscope Observation of Mo Deposition with a Video System.

著者 (3件)： IWATSU F (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN) ,  MORIKAWA H (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN) ,  TERAO T (Nagoya Inst. Technol., Nagoya, JPN)
資料名： Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters  (Japanese Journal of Applied Physics. Part 2. Letters)
巻： 35  号： 10A  ページ： L1293-L1296  発行年： 1996年10月01日 
JST資料番号： F0599B  ISSN： 0021-4922  資料種別： 逐次刊行物 (A)
記事区分： 短報  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 55KのW基板上にMo堆積の時間的発展を電界イオン顕微鏡とビ...

シソーラス用語： 電界イオン顕微鏡 ,...

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分類 (1件)： 金属薄膜  (BK14030T)

引用文献 (18件)：

• FINK, H. W. IBM J. Res. Develop. 1986, 30, 460
• WANG, S. C. J. Chem. Phys. 1991, 94, 4071
• DELORENZI, G. Surf. Sci. Lett. 1993, 293, L900
• SANDERS, D. E. Surf. Sci. 1991, 254, 3411
• SANDERS, D. E. J. Vac. Sci. & Technol. 1992, A10, 1986

タイトルに関連する用語 (5件)： ビデオ ,  Mo ,  堆積 ,  電界イオン顕微鏡 ,  観察