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J-GLOBAL ID：200902153990564631   整理番号：95A0570777

CO₂レーザーアニーリングによる伝搬損失の低減及びZnO三次元導波路の試作

Propagation loss reduction by CO2 laser annealing.

著者 (3件)： 若木守明 (東海大 工) ,  沢田昌毅 (東海大 工) ,  吉田博 (ジオマテック)
資料名： 応用物理学関係連合講演会講演予稿集  (Extended Abstracts. Spring Meeting. Japan Society of Applied Physics and Related Societies)
巻： 42nd  号： Pt 3  ページ： 1094  発行年： 1995年03月 
JST資料番号： Y0054A  資料種別： 会議録 (C)
発行国： 日本 (JPN)  言語： 日本語 (JA)

タイトルに関連する用語 (6件)： CO2レーザー ,  アニーリング ,  伝搬損失 ,  ZnO ,  導波路 ,  試作