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J-GLOBAL ID：200902154088718959   整理番号：02A0795012

LIGAプロセスにより作製した微細構造の表面粗さ

Surface Roughness of Microstructures Fabricated by LIGA Process.
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著者 (4件)：
MEKARU H

MEKARU H について

(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)

Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN について

, 
YAMADA T

YAMADA T について

(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)

Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN について

, 
EN S

EN S について

(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)

Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN について

, 
HATTORI T

HATTORI T について

(Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN)

Himeji Inst. Technol., Hyogo, JPN について


資料名：
Proceedings of the Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems  (Proceedings of the Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems)

Proceedings of the Sensor Symposium on Sensors, Micromachines, and Applied Systems について


巻： 19th  ページ： 263-266  発行年： 2002年05月30日 
JST資料番号： X0768A  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： 日本 (JPN)  言語： 英語 (EN)
抄録/ポイント：
抄録/ポイント
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LIGAプロセスはX線リソグラフィー,微小金属モールドの電鋳...
シソーラス用語：
シソーラス用語/準シソーラス用語
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*マイクロマシニング

マイクロマシニング について

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シソーラス用語/準シソーラス用語
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LIGA

LIGA について


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分類 (1件)：
分類
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固体デバイス製造技術一般 
(NC03030V)

固体デバイス製造技術一般 について

タイトルに関連する用語 (4件)：
タイトルに関連する用語
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作製

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微細構造

微細構造 について

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表面粗さ

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