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J-GLOBAL ID：200902154198710945   整理番号：02A0015302

2またはそれ以上の段階数の化学エッチングプロセスで製造した片面グルーブまたは両面グルーブ形の共振器

Single-Sided Grooved Type or Double-Sided Grooved Type Resonators Manufactured by Chemical Etching Process of Two or Above Steps.

著者 (9件)： NAGAURA Y (Nagaura Lab., Inc., Fukuoka Pref., JPN) ,  NAGAURA Z (Nagaura Lab., Inc., Fukuoka Pref., JPN) ,  NAGAURA K (Nagaura Lab., Inc., Fukuoka Pref., JPN) ,  NAGATO K (Nagaura Lab., Inc., Fukuoka Pref., JPN) ,  EMOTO K (Nagaura Lab., Inc., Fukuoka Pref., JPN) ,  IMANI K (Nagaura Lab., Inc., Fukuoka Pref., JPN) ,  KINOSHITA K (Nagaura Lab., USA, NY, USA) ,  YOKOMIZO S (Ind. Technol. Center of Okayama Pref., Okayama City, JPN) ,  NAKAZAWA M (Shinshu Univ., Nagano City, JPN)
資料名： Proceedings of the IEEE International Frequency Control Symposium  (Proceedings of the IEEE International Frequency Control Symposium)
巻： 2001  ページ： 381-389  発行年： 2001年 
JST資料番号： C0958A  ISSN： 1075-6787  資料種別： 会議録 (C)
記事区分： 原著論文  発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

抄録/ポイント： 2段階の化学エッチングプロセスにより,片面グルーブと両面グル...

シソーラス用語： *エッチング ,...

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分類 (2件)： 圧電デバイス  (NC03110I) ,  固体デバイス製造技術一般  (NC03030V)

タイトルに関連する用語 (7件)： 段階 ,  化学エッチング ,  プロセス ,  片面 ,  グルーブ ,  両面 ,  共振器