ULSIチップ中の相互接続誘電体としての非晶質炭素系材料

文献

J-GLOBAL ID：200902154255795570 整理番号：01A0386514

Amorphous carbon based materials as the interconnect dielectric in ULSI chips.

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資料名：
巻： 10 号： 2 ページ： 234-239 発行年： 2001年02月
JST資料番号： W0498A ISSN： 0925-9635 資料種別：逐次刊行物 (A)
記事区分：原著論文発行国：オランダ (NLD) 言語：英語 (EN)

ULSI回路のキャパシタンスを小さくし,スイッチング特性を向...

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炭素とその化合物 , 絶縁材料

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