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J-GLOBAL ID：200902154366467938   整理番号：99A0344352

レチクル欠陥密度を制御するためのプロセス中汚染検査のためのKLA-Tencor STAR light SL300の使用

The Use of KLA-Tencor STARlight SL 300 for In-Process Contamination Inspection to Control Reticle Defect Densities.

著者 (4件)： DUTTON D (Hewlett-Packard Co., CA) ,  SHEN W (Hewlett-Packard Co., CA) ,  YEE R (Hewlett-Packard Co., CA) ,  REYNOLDS J A (Reynolds Consulting, CA)
資料名： Proceedings of SPIE  (Proceedings of SPIE)
巻： 3546  ページ： 132-138  発行年： 1998年 
JST資料番号： D0943A  ISSN： 0277-786X  CODEN： PSISDG  資料種別： 会議録 (C)
発行国： アメリカ合衆国 (USA)  言語： 英語 (EN)

タイトルに関連する用語 (6件)： レチクル ,  欠陥密度 ,  プロセス ,  汚染検査 ,  StAR ,  LIGHT